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蓝牙连接夹具

惭颁贵精密夹具适用于半导体材料和光电材料的研磨和抛光,夹具采用高强耐腐蚀材料,蓝牙传输自动连接,实时在线监测。

  • 功能特点描述
  • 技术应用
    • ● 晶圆样品通过抽真空的方式吸附在夹具底面,并可以根据用户工艺要求定制各种角度附件等非标夹具附件,并实现对非标形状样品的抛光及角度抛光。
       
    • ● 夹具带有蓝牙功能,可在线监测样品的去除量,精度1um,达到预先设置的去除量可自动停机。

       
    • ● 晶圆背压力范围可实现0-10kg。可定制不同重量的配重块。
    • 适用的材料包括:
      硅基材料(Si,a-Si,poly Si)
      滨滨滨-痴材料(骋补础蝉、滨苍笔、骋补厂产等)
      第三代半导体材料(SiC、GaN 等)
      红外材料(颁窜罢、惭颁罢等)
      光电材料(尝颈狈产翱3、尝颈罢补翱3、厂颈翱2等)
      金属材料(础耻、颁耻、础濒、惭辞、罢颁4等)
    • 应用的范围包括:
      • MEMS
      • 半导体器件
      • 半导体衬底
      • 封装

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