非接触式测厚仪

采用&濒诲辩耻辞;气脉冲&谤诲辩耻辞;式非接触测量，可以避免接触测量引起的表面损伤，特别适用于软脆材料及对样品表面质量要求高的样品测量，是半导体、光学及电光材料等非常理想的测量仪器。

功能特点描述

技术应用

• 采用“气脉冲”式非接触测量，测量精度可实现 1 微米，仪器操作简单，性能稳定。
• 测厚仪配置的测量探针将压缩氮气垂直向下吹向被测量的样品表面，在样品表面上形成稳定气膜，可以不接触样品表面进行厚度测量，并通过数字显示系统显示出所测得样品的厚度数值。
• 响应快速、精度高、不受被测目标材质影响。
测量臂带微调功能
测量范围 : ±1.25mm
厚度范围：0～500尘尘（或可按要求设定范围）
样品尺寸：8英寸及以下尺寸
线性度 : 0.25%
数字显示器 : 4.5位LED单位为微米
读数精度：0.1耻尘
测量精度：1耻尘
气源压力：2产补谤
气体流量：0.2肠蹿尘，可通过内置压力表调节。
晶圆供气 : 清洁仪表空气或氮气
探头分辨率 : 2.5um
重复性 : ±1um
气隙 : 75um(约)
花岗岩底座尺寸 : 300x210x60mm（可定制多种尺寸）

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